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电子束熔炼的特点如下：①.由于熔炼是在高真空（0.027Pa～0.00027Pa）下进行，保证了在熔炼温度下，能使气态或蒸汽压较高的杂质被除去，可获得很高的净化效果。如难熔金属中的碳、钒、铁、硅、铝、镍、铬、铜等元素均可挥发除去，其含量低于分析法准确范围，西安科研仪器定制有的可达光谱分析极限水平，比精炼前能降低两个数量级，可得到晶界无氧化物的钼、钨。高温合金经电子束熔炼后，去除杂质的效果比其它真空熔炼都好。
氧可从0.002%降至0.0004%～0.0009%，氮降至0.004%～0.008%，氢含量低于0.0001%～0.0002%；②.熔炼速度和加热速度可以在较大范围内调节。被熔化的金属材料在液态的保持时间可以在很大范围内控制，有利于液态中的碳和氧完全反应，使扩散能力低的杂质能够扩散到熔体表面，参与蒸发作用； ③.功率密度高，可以达到104～108W/cm2，熔池表面温度高并可调节。
同时电子束的扫描对金属熔体有搅拌作用；④.金属熔体在水冷铜坩埚中凝固成铸锭，所以熔融金属不会被耐火材料污染： ⑤.可以得到很高的温度，能熔化任何难熔金属，也可熔化非金属；电子束熔炼也有如下缺点： ①.熔炼合金时，添加元素易于挥发，合金成分及均匀性不易控制； ②.电子束炉结构比较复杂，西安科研仪器定制需采用直流高压电源，运行费用较高； ③.由于电子束炉熔炼采用高压加速电子流，在工作中会产生对人体有害的X射线，故需要采取特殊的防护措施。
