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西安实验室设备定制对射频放电原理的研究

2020-12-04 16:00:51

      西安实验室设备定制大气压射频放电(频率为1~500MHz)冷等离子体源早在20世纪70年代及应用于固体表面的膜制备。

       在大气压条件下采用裸露金属电极结构的等离子体发生器产生射频辉光放电等离子体处理有机废气有诸多优点。首先,大气压气体放电不需要真空腔,降低了设备的建造和维护成本,解决了实际应用中受真空腔体限制的问题,使得等离子体处理操作更加灵活方便;其次,同大气压介质阻挡放电相比,不需要在电极表面覆盖介质层,因此西安实验室设备定制可以在较低的击穿电压下产生大面积、均匀的辉光放电等离子体。射频等离子体放电和直流放电相比,能够在较低的气压下工作(等离子体的阻抗随着频率的增大而减小)、有效电离机制和空间分布均匀;与微波放电相比,射频电源价格更便宜且电源功率更大,以上这些特点使得射频等离子体成为工业应用Z普遍的选择。

       射频等离子体放电可以分为:a.电感耦合等离子体(ICP),利用感应电场给等离子体提供能量。作为新一代的等离子体源具有较高的等离子体密度。射频电感耦合等离子体源由于结构简单、能产生高密度的纯净等离子体、使用寿命长以及性价比好的优点,所以近年来发展很快。但是ICP较大的缺陷是电感与等离子体之间的静电感应耦合,等离子体对天线的溅射作用给等离子体带来了污染,而线圈中心区域的等离子体密度较低。b.电容耦合等离子体(CCP),主要利用静电场加速电子。该电源能够生成大面积等离子体,低气压时,放电发光分布均匀,即使绝缘材料放置在电极上,也能够维持大面积稳定的等离子体状态。而等离子体鞘层电压可以达到上千伏,当等离子通过鞘层时,由鞘层电压加速,获得很高的能量。缺点是在进行工艺处理时容易引起器件的损坏。

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       所谓的高频耦合方式是指高频电源向等离子体传递能量的方式。实际上,高频是指特殊频段的电磁波,它的能量可以分为电场能量和电磁能量。由于只有高频电场才能加速电子以及电离中性气体产生等离子体,所以西安实验室设备定制高频耦合方式也就是等离子体中高频电场的产生方式及电子及电场的作用方式。


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