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实验室设备定制公司《零泄漏压力传感器/变送器》

2020-04-02 11:00:14

     实验室设备定制公司在科研试验领域大量使用的真空腔体往往在实际工作时,可能存在高纯气体为介质的正压试验工况需要用MEMS压力传感器/变送器来测量腔体的试验压力。但同时真空腔体对真空状态下的漏率又有着严格的要求,通常市场中常见的压力传感器/变送器的内部和连接接口的密封性能难以达到需要的漏率水平,往往相差2个数量级以上。

       在电子工业、物理试验等领域,往往也存在对高纯气体进行压力测量的需要。同样常见的普通MEMS压力传感器/变送器难以满足密封需要导致杂质气体的渗透或者对高纯气体的污染。

    于是开发一种适应正压或者负压测量需要又具有严格的漏率及使用可靠性、方便性的“零泄漏压力传感器/变送器”成为紧迫需要。西安鼎业流体科技有限公司(西安九鼎弘业仪器有限公司)通过积极研发和长期现场试验成功开发了满足这一特殊需求的“超低漏率(零泄漏)压力变送器”。

                      等离子体材料表面改性试验腔体

实验室设备定制公司

                           正压试验压力:0.2bar

                           真空试验压力:1×10-3Pa

                           接入电压:100KV

                           腔体有效容积:放电腔体30L,氟化腔体4L

                           内部运动机构:样品直线推送机构行程650mm,手摇旋转推进,自动抓取

                              制:手动阀门开关,真空获得过程PLC控制

     实验室设备定制公司在科研试验领域大量使用的真空腔体往往在实际工作时,可能存在高纯气体为介质的正压试验工况需要用MEMS压力传感器/变送器来测量腔体的试验压力。但同时真空腔体对真空状态下的漏率又有着严格的要求,通常市场中常见的压力传感器/变送器的内部和连接接口的密封性能难以达到需要的漏率水平,往往相差2个数量级以上。超低漏率压力变送器在正常使用具有极低的泄漏率(低至1×10-7Pa.L/s),并非真正的 “零泄漏”(零泄漏是不存在的),完全满足上述工况的需要。

       该压力变送器采用了与常规MEMS压力传感器相同的测压原理,但在结构和工艺和参数上具有如下特点:

       a.核心测压元件采用了316L隔膜进行封装;

       b.成品压力芯体与一体化外壳采用全焊接封闭;

       c.采用了易于连接和密封的特殊对外连接结构;

       d.加工过程在无尘环境中进行;

       e.采用惰性气体压力标定;

       f.进行无尘、无菌清洗和包装;

       g.具有现场显示、无现场显示、电池供电等多种结构形式;

       h.精度覆盖0.25%F.S、0.1%F.S、、0.05%F.S,满足高精度测量;

       i.压力测量可按绝压、表压、正压、负压、复合压力等多种形式提供。


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